폴리머를 이용한 웨이퍼 분리 기술

소잉은 와이어나 다이아몬드를 사용하는 현재 웨이퍼 제조에 생산되는 전통적 방식입니다. 두 가지 방법 모두 재료 손실을 발생시킵니다. 이로 인해  “Kerf Loss: 절단 손실”이 발생합니다. 이것은 적어도 ‘소 와이어’의 폭만큼 재료 손실을 부담시킨다고 합니다만 실제로는 그 이상의 웨이퍼 손실을 일으킵니다.
혁신적 방식은 웨이퍼를 특수 폴리머로 코팅 시킵니다. 웨이퍼에 ‘Thermal Stress’ 을 발생시키고 웨이퍼와 폴리머의 응력차이는 웨이퍼를 이등분 합니다.이런 방식을 되풀이 하여 웨이퍼들은 계속 분리됩니다.

*Kerfless: Kerf는 ‘자국절단’이라는 뜻으로 절삭에 의해 금속이 제거된 공간으로 Kerfless 는 이러한 자국이 없는 모양을 말합니다. ’Kerfless Wafer’는 자르는 공정 없이 잉곳에서 바로 웨이퍼를 만들어 내는 것으로 공정 비용을 획기적으로 줄일 수 있는 차세대 기술입니다.재료의 손실 및 공정 부담을 가져오는 전통적인 소잉 공정을 획기적으로 개선하여 실리콘, GaAs, Germanium, 사파이어 웨이퍼 생산에 적용되는 새로운 기술입니다.

출처] http://www.siltectra.com/en/technologie/

splitted wafer by siltectra

출처 By Siltectra GmbH (Siltectra GmbH) [CC BY-SA 4.0 ], via Wikimedia Commons

2016년 foundry 업체 순위

순수 파운더리 업체들의 시장 규모가 $50 billion으로  2016년에 전년 대비 11% 성장하였습니다. 빅 4 업체가 85%의 시장 점유율을 갖고 있습니다. TSMC의 2016년 시장점유율은 59% 입니다. 가장 큰 성장율을 보인 파운더리 업체들은 X-fab, SMIC,타워재즈로 각각 54%, 31%, 30%의 성장율을 기록했습니다.  10개의 주요 파운더리 업체들 중 7개는 업체들이 아시아에 주둔하고 있습니다.

top 10 pure player foundry

SiC epi system EPI 1000

AIXTRON, Epigress -> Epiluvac
1983 // RWTH Aachen 반도체 기술연구소의 직원들이 광전자 분야를 내다 보고 회사를 설립하였습니다.  “AIXTRON”이라는 이름은 Aachen에 대한 프랑스어 이름인 Aix-la-Chapelle와 “전자공학(electronics)”으로 만들어졌습니다.  1989 // 필립스에서Planetary Reactor 기술에 대한 독점 라이선스 획득하고 1990 // 최초 MOCVD 멀티웨이퍼 시스템 납품합니다.  1999 // 영국의 Thomas Swan Scientific Equipment Division(현재 AIXTRON Ltd.)을 인수하여 이 회사의 ‘Close Coupled Showerhead’ 기술에 기초한 전체 MOCVD 시스템과 서비스 사업을 인수하게 되고 이후 1999 // 스웨덴의 EPIGRESS AB(현재 AIXTRON AB)를 인수하여 SiC CVD 기술을 추가함으로써 포트폴리오를 확장시키고 2010년을 넘기며 G5 시스템등 양산 장비의 면모를 갖추게 됩니다.

RWTH ILT

Aachen RWTH ILT   출처 By Norbert Schnitzler (Own work) CC-BY-SA-3.0 via Wikimedia Commons

Epiluvac은 2013년 KTH출신의 Bo Hammerland로 거슬러 올라니다. Bo 는 2013년 Epiluvac을 설립합니다. Epigress는 SiC-epitaxy의 최초 장비입니다. Axitron으로 1999년 합병하고 사업에 어려움을 겪자 Epigress 개발 사업을 중단하기로 결정하합니다. 이때 Epiluvac이 탄생합니다. EPI 1000 System은 SiC Epi 장비로 전 세계적으로 잘 알려진 Epigress VP-508 reactor의 진화된 모델입니다. EPI 1000 System은 CVD Reactor 개발에 20년 이상의 경험을 가진 연구원들의 결정체입니다. Epiluvac는 에피 성장에 고온이 필요한 현대 추세에 맞게 nitride 같은 WBG 재료들 개발에 집중하고 있습니다. Epiluvac는 R&D와 작은 수량의 EPI 대응이 가능하고 추가적으로 SiC EPI, GaN EPI, SiGeSnC 성장 Reactor 장비 사업도 운영하고 있습니다.

Lund science park

Lund IDEON sciene park 출처 By News Oresund / Ideon Science Park Betahuset 20120528 0036F/ [CC BY 2.0], via Wikimedia Commons

출처
http://www.aixtron.com/en/company/about-aixtron/history/
http://epiluvac.com/