순수 파운더리 업체들의 시장 규모가 $50 billion으로 2016년에 전년 대비 11% 성장하였습니다. 빅 4 업체가 85%의 시장 점유율을 갖고 있습니다. TSMC의 2016년 시장점유율은 59% 입니다. 가장 큰 성장율을 보인 파운더리 업체들은 X-fab, SMIC,타워재즈로 각각 54%, 31%, 30%의 성장율을 기록했습니다. 10개의 주요 파운더리 업체들 중 7개는 업체들이 아시아에 주둔하고 있습니다.
AIXTRON, Epigress -> Epiluvac
1983 // RWTH Aachen 반도체 기술연구소의 직원들이 광전자 분야를 내다 보고 회사를 설립하였습니다. “AIXTRON”이라는 이름은 Aachen에 대한 프랑스어 이름인 Aix-la-Chapelle와 “전자공학(electronics)”으로 만들어졌습니다. 1989 // 필립스에서Planetary Reactor 기술에 대한 독점 라이선스 획득하고 1990 // 최초 MOCVD 멀티웨이퍼 시스템 납품합니다. 1999 // 영국의 Thomas Swan Scientific Equipment Division(현재 AIXTRON Ltd.)을 인수하여 이 회사의 ‘Close Coupled Showerhead’ 기술에 기초한 전체 MOCVD 시스템과 서비스 사업을 인수하게 되고 이후 1999 // 스웨덴의 EPIGRESS AB(현재 AIXTRON AB)를 인수하여 SiC CVD 기술을 추가함으로써 포트폴리오를 확장시키고 2010년을 넘기며 G5 시스템등 양산 장비의 면모를 갖추게 됩니다.
Aachen RWTH ILT 출처 By Norbert Schnitzler (Own work) CC-BY-SA-3.0 via Wikimedia Commons
Epiluvac은 2013년 KTH출신의 Bo Hammerland로 거슬러 올라니다. Bo 는 2013년 Epiluvac을 설립합니다. Epigress는 SiC-epitaxy의 최초 장비입니다. Axitron으로 1999년 합병하고 사업에 어려움을 겪자 Epigress 개발 사업을 중단하기로 결정하합니다. 이때 Epiluvac이 탄생합니다. EPI 1000 System은 SiC Epi 장비로 전 세계적으로 잘 알려진 Epigress VP-508 reactor의 진화된 모델입니다. EPI 1000 System은 CVD Reactor 개발에 20년 이상의 경험을 가진 연구원들의 결정체입니다. Epiluvac는 에피 성장에 고온이 필요한 현대 추세에 맞게 nitride 같은 WBG 재료들 개발에 집중하고 있습니다. Epiluvac는 R&D와 작은 수량의 EPI 대응이 가능하고 추가적으로 SiC EPI, GaN EPI, SiGeSnC 성장 Reactor 장비 사업도 운영하고 있습니다.
Lund IDEON sciene park 출처 By News Oresund / Ideon Science Park Betahuset 20120528 0036F/ [CC BY 2.0], via Wikimedia Commons
